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PWBA 晶圆装载联锁（已使用）

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PWB 离子计

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PWBA 主板真空控制 WFR 负载

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PWB 总成，晶圆刀片控制

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PWBA PWS 离子计

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PWBA 控制器热敏电阻（已使用）

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PWBA I-V 转换轮廓仪

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P/N 0100-90042-ZH Categories PI9500/xR9500/xR200S, 应用材料

PWBA 主电源检测

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P/N 0100-90032-ZH Categories xR80/xR120s, 应用材料

DAQ 逆变器（二手）

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P/N 0100-90027-ZH Categories xR80/xR120s, 应用材料

PWBA 24V 1A 电源

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